3D測量激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4000
發(fā)布時間: 2010-03-28 10:38
產(chǎn)品編號：
4238304516
產(chǎn)品名稱：
3D測量激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4000
規(guī) 格：
LEXT OLS4000
產(chǎn)品備注：
奧林巴斯
 產(chǎn) 品 說 明
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配置新開發(fā)的雙共焦系統(tǒng)，可以測量那些原本難以測量的樣品。此外，還充實(shí)了粗糙度測量功能，靈活運(yùn)用非接觸式測量的優(yōu)點(diǎn)，其
精益求精的測量性能
輕松檢測尖銳角
采用了有著高N.A. 的專用物鏡，和能最大限度發(fā)揮405 nm 激光性能的專用光學(xué)系統(tǒng)，LEXT OLS4000可以精確的測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。
有尖銳角的樣品（剃刀）
LEXT 專用物鏡
克服反射率的差異
LEXT OLS4000 采用了新開發(fā)的雙共焦系統(tǒng)。由于配置了2 個共焦光學(xué)系統(tǒng)，那些一直以來使用激光顯微鏡難以測量的、含有不同反射率材料的樣品，也能在LEXT OLS4000上獲得鮮明的影像。
反射率有差異的樣品（鉆石電鍍工具）
雙共焦系統(tǒng)
穩(wěn)定測量環(huán)境
為了排除來自外部的影響，穩(wěn)定測量，LEXT OLS4000 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡皮組成的“混合減震機(jī)構(gòu)”。所以，可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子進(jìn)行測量作業(yè)，不需要專用的防震平臺。
混合減震機(jī)構(gòu)
混合減震機(jī)構(gòu)減輕
振動帶來的影響
受到來自外部的
振動的影響
世界首臺有2個性能保證的激光顯微鏡
表示測量儀器的測量精度的，有2個指標(biāo)。一個是測量值與真正值的接近程度（正確性），另一個則是多次測量值的偏差程度（重復(fù)性）。LEXT OLS4000是世界首臺保證了“正確性”和“重復(fù)性”的激光顯微鏡。
2個性能保證
OLS4000從鏡頭制造到成品全部在奧林巴斯工廠完成，并按照一系列標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格檢查后出廠。交付產(chǎn)品時的校正和最后的調(diào)整，由選拔出來的技術(shù)人員在實(shí)際使用環(huán)境中執(zhí)行。
更加真實(shí)的再現(xiàn)微小凹凸
微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小凹凸的觀察方法。LEXT OLS4000 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差，生成明暗對比，從而實(shí)現(xiàn)對微小凹凸的立體觀察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉觀察，即使是低倍率的動態(tài)觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。
有DIC（高分子薄膜）
無DIC（高分子薄膜）
對應(yīng)大范圍觀察
在高倍率影像觀察中，視場范圍會變窄。LEXT OLS4000 搭載了縫合功能，最多可拼接500 幅影像，從而能得到高分辨率和大視場范圍的影像數(shù)據(jù)。不僅如此，LEXT OLS4000 還能對該大視場影像進(jìn)行3D 顯示和3D 計(jì)測。
拼接的亮度影像
拼接的3D 影像
輸出結(jié)果有著與接觸式表面粗糙度測量儀相同的操作性和互換性。3D測量激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4000 規(guī)格
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光學(xué)系統(tǒng)
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UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正）
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總倍率
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108x～17280x
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觀察視場
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2560x2560～16x16 μm
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機(jī)身
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觀察方法
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明視場／微分干涉／激光／激光微分干涉
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激光
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405 nm 半導(dǎo)體激光
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白色照明
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白色LED照明
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對焦單元
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粗調(diào)Z軸載物臺
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劃動
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100 mm
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最大樣本高度
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100 mm
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細(xì)調(diào)Z軸物鏡轉(zhuǎn)換器
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測量劃動
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10 mm
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驅(qū)動分辨率
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0.01 μm
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重復(fù)性
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σn-1=0.012 μm
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物鏡
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5x, 10x, 20x, 50x, 100x
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光學(xué)變焦
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1x～8x
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載物臺
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電動載物臺
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100x100 mm
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外形尺寸
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276（W）x358（D）x405（H） mm
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重量
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32 kg（只包括機(jī)身
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