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能以高倍率、高對比度進行深紫外線（DUV）觀察的型號采用了適合深紫外線248 nm的光學系統(tǒng)，實現(xiàn)了分辨率高達0.08 μm的高對比度成像。可以根據(jù)樣品的大小分別選擇MX61L/MX61/MX51。
高分辨率： 色差校正的光學系統(tǒng)，能觀察到明亮的、高對比度的深紫外線影像 采用了適合深紫外線248 nm的光學系統(tǒng)，實現(xiàn)了可見光線2倍以上的分辨率。即使是深紫外線領(lǐng)域，也能進行248±4 nm的寬范圍波長色差校正。能有效利用照明光源，獲得鮮明的深紫外線觀察影像，適用于觀察低反射率的銅接線等標本。也可以在檢查更微細的半導體圖紋面和磁頭滑動面的縫隙時，檢查電極時，以及在縮微平版印刷技術(shù)中使用這個顯微鏡系統(tǒng)。
不使用粘合的全新DUV物鏡：DUV物鏡采用了本公司獨有的“無粘合透鏡”設(shè)計制造技術(shù)。新開發(fā)的DUV物鏡不使用粘合材料，高精度地組裝了18組18片的透鏡。即使是長時間的深紫外線照射，DUV物鏡也能維持優(yōu)異的性能。
分離深紫外線燈箱，提高系統(tǒng)設(shè)計自由度把作為熱源的燈箱從深紫外線鏡筒分離，使之成為獨立的光源單元。使用UV光引導把照明光線從光源單元導向鏡筒，這樣一來，在設(shè)置顯微鏡時其布局就容易了許多。此外，光源單元前面的操作旋鈕，可以無級調(diào)光，能調(diào)節(jié)出適合樣品的最佳亮度。石英纖維的使用實現(xiàn)了均一的DUV光照明。
電腦控制數(shù)碼照相機：高精度UV數(shù)碼照相機采用了能高速讀取數(shù)據(jù)的IEEE1394格式。使用影像分析軟件analySIS FIVE（選件），可以用電腦控制照相機。還可以在電腦上對讀取的影像數(shù)據(jù)進行圖像處理、計算測量和分析，甚至創(chuàng)建數(shù)據(jù)庫和報告。
高經(jīng)濟性： 小型緊湊、低成本DUV鏡筒構(gòu)造簡單，沒有操作部分。照明部分可以拆卸，與傳統(tǒng)的專用設(shè)備相比，重量減少了約1/2，實現(xiàn)了小型、輕便化。此外，成本也約壓縮為原來的一半。
采用超長壽命的水銀氙燈在深紫外線照明上采用了照明時間平均為1000小時的超長壽命水銀氙燈。減少了照明燈的更換，降低了運行成本。
將深紫外線觀察裝置搭載于顯微鏡上，就可以組成深紫外線觀察顯微鏡。
有關(guān)對應(yīng)的顯微鏡規(guī)格，請參閱各顯微鏡的具體規(guī)格說明。
深紫外線觀察裝置
U-UVF規(guī)格
UV248鏡筒
U-UVF248IM
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DUV光學系統(tǒng)
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使用波長
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248±4 nm
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光源
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80 W水銀氙燈
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物鏡
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專用DUV100×物鏡／
N.A. 0.9 WD 0.2 mm
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中間倍率
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2.5×
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視場數(shù)
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12.5（實際視場50 μm）
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適用溫度環(huán)境
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23±5℃
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可見光線光學系統(tǒng)
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物鏡
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UIS物鏡
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中間倍率
|
1×
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視場數(shù)
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22（照相機觀察為20）
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UV428光源盒
U-UVF248LB
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亮度調(diào)節(jié)
快門
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0到100%手動無級調(diào)節(jié)
上下滑動式切換撥桿
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UV光導U-UVF2FB/5FB
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長度2 m或5 m
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水銀氙燈盒U-LH80HGXE
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使用80 W水銀氙燈
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電源裝置
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USHIO制造（100 V～120 V）
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對應(yīng)顯微鏡一覽
MX61A：可以綜合控制外圍設(shè)備、對應(yīng)300 mm晶圓的電動型號
MX61L：可以對應(yīng)300 mm晶圓的電動型號
MX61：可以對應(yīng)200 mm晶圓的電動型號
MX51：可以對應(yīng)150 mm晶圓的手動型號
將深紫外線觀察裝置搭載于顯微鏡上，就可以組成深紫外線觀察顯微鏡。
有關(guān)對應(yīng)的顯微鏡規(guī)格，請參閱各顯微鏡的具體規(guī)格說明。
深紫外線觀察裝置
U-UVF規(guī)格
UV248鏡筒
U-UVF248IM
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DUV光學系統(tǒng)
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使用波長
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248±4 nm
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光源
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80 W水銀氙燈
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物鏡
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專用DUV100×物鏡／
N.A. 0.9 WD 0.2 mm
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中間倍率
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2.5×
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視場數(shù)
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12.5（實際視場50 μm）
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適用溫度環(huán)境
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23±5℃
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可見光線光學系統(tǒng)
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物鏡
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UIS物鏡
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中間倍率
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1×
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視場數(shù)
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22（照相機觀察為20）
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UV428光源盒
U-UVF248LB
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亮度調(diào)節(jié)
快門
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0到100%手動無級調(diào)節(jié)
上下滑動式切換撥桿
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UV光導U-UVF2FB/5FB
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長度2 m或5 m
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水銀氙燈盒U-LH80HGXE
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使用80 W水銀氙燈
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電源裝置
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USHIO制造（100 V～120 V）
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對應(yīng)顯微鏡一覽
MX61A：可以綜合控制外圍設(shè)備、對應(yīng)300 mm晶圓的電動型號
MX61L：可以對應(yīng)300 mm晶圓的電動型號
MX61：可以對應(yīng)200 mm晶圓的電動型號
MX51：可以對應(yīng)150 mm晶圓的手動型號
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產(chǎn) 品 說 明
