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UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容,可按照用途選用。另外,波像差控制帶來(lái)的高品質(zhì),忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等,UIS2物鏡無(wú)論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的卓越性能。
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)??梢员4婧陀涗洈?shù)碼影像,幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告。可根據(jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。
由可見(jiàn)光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡,和紅外線用超廣角三目鏡筒等,備有各種對(duì)應(yīng)近紅外線觀察的單元。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。
在滑桿上追加鏡子裝置可以對(duì)應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置,可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。
對(duì)應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載,實(shí)現(xiàn)了透射簡(jiǎn)易偏振光觀察。有通用的A型號(hào)和高NA(數(shù)值孔徑)的B型號(hào)兩種型號(hào)。