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卓越的測(cè)量

更大的樣品范圍

輕松檢測(cè)85° 尖銳角

有尖銳角的樣品（剃刀）

采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)（能最大限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精確地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測(cè)量。

LEXT 專用物鏡

使用專用物鏡時(shí)的最小象差

高度分辨率10 nm，輕松測(cè)量微小輪廓

(MPLAPON50XLEXT) 
高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度測(cè)量中的檢測(cè)

由于采用405 nm 的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡，OLS4100 達(dá)到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法，例如奧林巴斯開(kāi)創(chuàng)的I-Z 曲線（請(qǐng)參閱第23 頁(yè)），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

克服反射率的差異

鉆石電鍍工具 
物鏡：MPLAPON50XLEXT

OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng)，結(jié)合高靈敏度的探測(cè)器，那些具有不同反射率材料的樣品，也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。

適用于透明層

多層模式 
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點(diǎn)，這樣即可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量，而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。 

觀察／測(cè)量透明材料的各個(gè)層 
多層模式可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀察和測(cè)量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹(shù)脂層，也可測(cè)量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。 

工業(yè)領(lǐng)域首創(chuàng)* 的兩項(xiàng)性能保證

正確性和重復(fù)性

通常表示測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度的，有2 個(gè)指標(biāo)："正確性"，即測(cè)量值與真正值的接近程度，和"重復(fù)性"，即多次測(cè)量值的偏差程度。OLS4100 是業(yè)界首次同時(shí)保證了"正確性"和"重復(fù)性"的激光掃描顯微鏡。

追溯體系

OLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內(nèi)完成，并按照一系列嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行全面的檢驗(yàn)并確保產(chǎn)品的質(zhì)量后方才出廠 。交付產(chǎn)品時(shí)，由選拔出來(lái)的技術(shù)人員，在實(shí)際使用環(huán)境中執(zhí)行校正和最后的調(diào)整。

更多的測(cè)量類型

高度測(cè)量

可以測(cè)量輪廓截面上任意兩點(diǎn)之間的高低差異。 
輪廓測(cè)量也同樣可用

表面粗糙度測(cè)量

可以測(cè)量線粗糙度，以及平面整體的面粗糙度。

 

面積／體積測(cè)量

根據(jù)設(shè)置在輪廓截面上的任意閾值，可以測(cè)量其上部或下部的體積。

粒子測(cè)量 (選購(gòu)件)

可以通過(guò)分離功能使粒子自動(dòng)分離，設(shè)置閾值，根據(jù)ROI 設(shè)置檢測(cè)范圍。

 

幾何測(cè)量

可以測(cè)量影像上任意兩點(diǎn)之間的距離。還可以測(cè)量任意區(qū)域的面積。

膜厚測(cè)量 (選購(gòu)件)

可以根據(jù)測(cè)出的對(duì)焦位置，測(cè)量透明介質(zhì)的膜厚。

 

自動(dòng)尋邊測(cè)量 (選購(gòu)件)

可以自動(dòng)尋邊，測(cè)量線寬和圓，減少人為的測(cè)量誤差。

 

 

OLYMPUS Stream (選購(gòu)件)

工作流程解決方案，實(shí)現(xiàn)了優(yōu)秀的圖像分析性能 
對(duì)于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級(jí)別的測(cè)量，可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件，該軟件可以從OLS4100 直接上傳。

想了解更多OLYMPUS Stream相關(guān)內(nèi)容 >

更精準(zhǔn)的粗糙度測(cè)量

LEXT OLS4100 參數(shù)

作為表面粗糙度測(cè)量的新標(biāo)準(zhǔn)，奧林巴斯開(kāi)發(fā)了LEXT OLS4100。對(duì)LEXT OLS4100 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x同樣的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對(duì)于使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x的用戶來(lái)說(shuō)，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度專用模式，可以用自動(dòng)拼接功能測(cè)量樣品表面直線距離最長(zhǎng)為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x相同的表面輪廓參數(shù)，因此具有相互兼容的操作性和測(cè)量結(jié)果。

適應(yīng)下一代參數(shù) 
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度（3D）參數(shù)。通過(guò)評(píng)估平面區(qū)域，可以進(jìn)行高可靠性的分析。

? LEXT OLS4100 與表面粗糙度測(cè)量?jī)x的結(jié)果相兼容。 

微細(xì)粗糙度

使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x，無(wú)法測(cè)量比探針的針尖直徑更細(xì)微的表面輪廓。而OLS4100 有著微小的激光光斑直徑，所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測(cè)量。 

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非接觸式測(cè)量

使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量柔軟的樣品時(shí)，樣品容易受到探針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會(huì)粘在探針上，無(wú)法得到正確的測(cè)量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100，不會(huì)影響樣品的表面狀態(tài)，可以準(zhǔn)確的測(cè)量樣品 
的表面粗糙度。

高分子薄膜3D 影像（上）和粗糙度測(cè)量結(jié)果（左）

柔軟的樣品 

帶有粘性的樣品

微米級(jí)特征的測(cè)量

使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x，其探針無(wú)法進(jìn)入微米級(jí)的區(qū)域，所以不能對(duì)這些區(qū)域的特征進(jìn)行測(cè)量。而OLS4100 可以正確定位，能輕松測(cè)量出特定微小區(qū)域的粗糙度。

焊線

高畫(huà)質(zhì)影像

清晰鮮明的3D 彩色影像

三種類型的綜合影像

真彩3D 影像

LEXT OLS4100 可以同時(shí)獲取三種不同類型的影像信息：真彩3D 影像、激光全焦點(diǎn)3D 影像和高度信息影像。

激光全焦點(diǎn)3D 影像

高度信息影像

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再現(xiàn)自然色

OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相裝置以生成清晰、色彩自然的影像，所得影像可以與高級(jí)的光學(xué)顯微鏡相媲美。

2D 彩色影像（紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x）

3D 彩色影像（紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x）

更加真實(shí)地再現(xiàn)表面, 激光DIC（激光微分干涉）

微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小表面輪廓的觀察方法。LEXT OLS4100 通過(guò)安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來(lái)照射樣品。獲取由樣品直接反射回來(lái)的兩束光線的差，生成明暗對(duì)比，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微小凹凸的立體觀察。LEXTOLS4100 擁有DIC 激光模式，即使是低倍率的動(dòng)態(tài)觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。

無(wú)DIC 的激光影像（高分子薄膜）

有DIC 的激光影像（高分子薄膜）

 

無(wú)DIC 的激光影像（5x 物鏡） 
高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany

有DIC 的激光影像（5x 物鏡） 
高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 實(shí)際高度：6 nm

 

亮度和對(duì)比度之間更加優(yōu)化的平衡, HDR（高動(dòng)態(tài)范圍）影像

OLS4100 的高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）功能結(jié)合了多張以不同曝光率獲取的光學(xué)顯微鏡影像，并且分別控制著亮度、對(duì)比度、紋理和飽和度，因此HDR 可以以寬動(dòng)態(tài)范圍處理影像。OLS4100 尤其可以對(duì)紋理不明顯的樣品的彩色影像進(jìn)行清晰地觀察。

無(wú)HDR 的彩色影像 
（致密的織物、物鏡20x、變焦1x）

有HDR 的彩色影像 
（致密的織物、物鏡20x、變焦1x）

算法

穩(wěn)定測(cè)量和成像環(huán)境

復(fù)合減震機(jī)構(gòu)

為了排除來(lái)自外部的影響，穩(wěn)定測(cè)量和成像，OLS4100 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復(fù)合減震機(jī)構(gòu)"以穩(wěn)定操作環(huán)境。所以，可以把OLS4100 放在普通的桌子進(jìn)行測(cè)量作業(yè)，不需要專用的防震平臺(tái)。