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您對(duì)樣品的研究是否已不限于其表面成像？您是否希望了解樣品的化學(xué)組份或形貌信息？您是否非常想了解更深層次的三維結(jié)構(gòu)特征？或者計(jì)劃對(duì)樣品進(jìn)行調(diào)整或加工？
AURIGA FIB-SEM 系統(tǒng)將 GEMINI 電子束（e-Beam）鏡筒的三維成像和分析性能與用于納米級(jí)材料加工和樣品制備的聚焦離子束結(jié)合在一起。其包含具有不同樣品室的 AURIGA 40 和 AURIGA 60 兩種型號(hào)可供選擇，為工業(yè)質(zhì)量控制和材料科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用提供極大的靈活性。
獨(dú)特的成像能力
- 在有局部電荷中和器的情況下，可以使用所有標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器進(jìn)行非導(dǎo)電樣品成像
- 包含 EsB 技術(shù)的獨(dú)特探測(cè)器設(shè)計(jì)，能夠同時(shí)檢測(cè)形貌和組份信息
- 使用 GEMINI 鏡筒研究磁性樣品
先進(jìn)的分析能力
- 使用局部中和器進(jìn)行非導(dǎo)電樣品分析
- 擁有 15 或 23 個(gè)附屬端口的多功能樣品室
- 樣品室的優(yōu)化幾何設(shè)計(jì)，可同時(shí)安裝 EDS、EBSD、STEM、WDS 和 SIMS 等設(shè)備
精準(zhǔn)的處理能力
- 創(chuàng)新的 FIB 技術(shù)，具有最高級(jí)別的分辨率（< 2.5 nm）
- 在 FE-SEM 下以高分辨率實(shí)時(shí)監(jiān)控整個(gè)樣品的制備過(guò)程
- 先進(jìn)的氣體處理技術(shù)，用于離子束與電子束的輔助刻蝕和沉積
未來(lái)的可擴(kuò)展性
- 可提供具有不同樣品室的 AURIGA 40 和 AURIGA 60 兩種型號(hào)
- 基于 GEMINI FE-SEM 技術(shù)的可擴(kuò)展平臺(tái)理念
- 模塊化設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)可用于功能擴(kuò)展
高分辨率信息
AURIGA FIB-SEM 工作站的顯微機(jī)械加工和結(jié)構(gòu)化處理能力使其應(yīng)用范疇不僅只限于標(biāo)準(zhǔn)樣品制備。
其對(duì)聚焦離子束靈活精準(zhǔn)的控制（可與工藝氣體配合使用），在科學(xué)和工業(yè)研發(fā)領(lǐng)域的應(yīng)用中也起著重要的作用。對(duì)于高效率的應(yīng)用，可靠性與易用性是決定離子束控制加工品質(zhì)的主要因素。
納米圖形引擎軟件可以通過(guò)高度靈活且直觀的用戶界面來(lái)滿足這類應(yīng)用需求，從而實(shí)現(xiàn)最復(fù)雜的 16 位高精度結(jié)構(gòu)處理。
擴(kuò)展 AURIGA FIB-SEM 系統(tǒng)應(yīng)用范圍：ATLAS 3D 是專為 FIB 納米表面形貌設(shè)計(jì)的一款軟、硬件包。它能夠以高達(dá) 32 k x 32 k 像素分辨率創(chuàng)建三維數(shù)據(jù)圖像。在三維模式下以納米級(jí)分辨率對(duì)成千上萬(wàn)的立方微米結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析。
智能軟件算法減少了數(shù)據(jù)量和采集時(shí)間。其具有漂移校正、自動(dòng)消像散、自動(dòng)對(duì)焦和用于快速獲取可靠結(jié)果的自調(diào)動(dòng)態(tài)三維追蹤功能。
武漢總部
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