德國馬爾MarSurf WM 100 高精度光學測量儀
發(fā)布時間: 2017-07-14 12:12
德國馬爾MarSurf WM 100 高精度光學測量儀
高精度光學測量儀 MarSurf WM 100 有亞納米級分辨率和測量精度。3D 白光干涉儀測量系統(tǒng)。
德國馬爾MarSurf WM 100 高精度光學測量儀,特性
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亞納米分辨率和測量精確度下有最高精度
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適合所有光學和反射表面、精細技術表面和電路板、半導體產(chǎn)品和生物組織表面
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2D 表面分析和測量評估
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地形學 3D 表面分析和測量評估
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快速測量 #96 短測量時間
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在最多 4 個軸上手動定位工作臺和物體
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多種鏡頭選擇,可根據(jù)測量對象進行完美調整
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采用花崗石底座的穩(wěn)固型設計
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基于 MountainsMap? 的專業(yè)評估軟件
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機器建造:所有類型純金屬表面(打磨,軋制等),以及激光結構表面、細陶瓷和塑料表面、鑄模表面
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醫(yī)療:植入體、假肢和儀器的金屬、陶瓷和塑料表面
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電子:涂層表面分析,電子和半導體組件的測量和分析
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光學:各種光學組件(所有材料)的粗糙度分析
德國馬爾MarSurf WM 100 高精度光學測量儀,附件
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傳感器系統(tǒng),包含:
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WLI 傳感頭
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相機,768 x 582 像素,最高 48 圖像/秒
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100 μm Z 軸,帶壓電驅動
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WLI 軟件模塊,"Inspector" 軟件
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花崗石底座和立柱,配有手動定位傳感器系統(tǒng)
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手動 XY 載物臺用于測頭定位
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20x0.4 DI 鏡頭(白光干涉儀)
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CT 120 雙軸傾斜工作臺
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設置工作臺角 +/- 30°
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標準套件
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白光干涉儀:WLI 物鏡 2.5x0.075; 5x0.13; 10x0.3; 20x0.4; 50x0.55; 100x0.7
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可選:配備減震器來為納米和亞納米范圍測量優(yōu)化減震
德國馬爾MarSurf WM 100 高精度光學測量儀,技術數(shù)據(jù)
測量原則
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使用干涉儀,白光干涉儀
光源 (WLI):高功率 LED,505 nm
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測量范圍 mm
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傳感器裝置在 Z 方向可手動移動 200 mm
載物臺在 X 和 Y 方向可手動移動
干涉儀,白光干涉儀:
測量范圍(WLI):最高 100 μm(垂直)
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接口
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230 V, 50 Hz
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全國各地均有供應:北京、天津、上海、重慶、石家莊、唐山、秦皇島、太原、沈陽、大連、丹東 、長春、哈爾濱、南京、連云港、杭州、合肥、福州、廈門、南昌、 濟南、青島、邯鄲、洛陽、日照、煙臺、 鄭州、武漢、襄陽、十堰、長沙、廣州、深圳 南寧、成都、貴陽、昆明、拉薩、西安、蘭州、西寧、銀川、烏魯木齊、寧波、桂林、海南??凇刂?、大理、廣東、廣西、浙江、福建、江蘇、安徽、江西、湖北、湖南、云南、貴州、四川、青海、陜西、甘肅、寧夏、河南、河北、山東、山西、遼寧、吉林、黑龍江、內蒙古、新疆、西藏等地。