XL-80激光干涉儀和球桿儀測(cè)量系統(tǒng)
發(fā)布時(shí)間: 2010-03-28 11:49
產(chǎn)品編號(hào)：
2271627216
產(chǎn)品名稱：
激光干涉儀和球桿儀測(cè)量系統(tǒng)
規(guī) 格：
XL-80
產(chǎn)品備注：
用于評(píng)估、監(jiān)控并提高機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī) (CMM) 及其他位置精度要求關(guān)鍵的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)性能。
 產(chǎn) 品 說 明 |
XL-80主要優(yōu)點(diǎn)
雷尼紹設(shè)計(jì)、制造和提供激光系統(tǒng)已有近二十年的歷史。XL-80正是多年設(shè)計(jì)和制造經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶，具有真正領(lǐng)先的系統(tǒng)性能和操作優(yōu)點(diǎn)。
| 便攜性和易用性
XL-80激光干涉儀和XC-80補(bǔ)償器體積小巧，這意味著一套完整的線性測(cè)量系統(tǒng)只需裝在一個(gè)“便攜箱”中，重量?jī)H為12公斤。再加上一個(gè)三腳架（裝在尼龍拉鏈攜帶箱中），您就擁有了一個(gè)真正便攜的機(jī)器測(cè)量方案。激光干涉儀和補(bǔ)償器均可通過USB與計(jì)算機(jī)連接，因此無需單獨(dú)的接口，也不必?fù)?dān)心復(fù)雜的設(shè)定。 |
| | 精度和動(dòng)態(tài)性能
精確穩(wěn)定的激光源和準(zhǔn)確的環(huán)境補(bǔ)償，保證了±0.5 ppm的線性測(cè)量精度。讀數(shù)以50 kHZ頻率讀取，最高線性測(cè)量速度可達(dá)4 m/s，即使在最高速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm。所有測(cè)量選項(xiàng)（不只是線性）均采用干涉法測(cè)量，使您對(duì)記錄數(shù)據(jù)的精度有信心。 |
| 使用方便
XL-80設(shè)定和使用快速簡(jiǎn)便，可減少等待時(shí)間并增加測(cè)量時(shí)間，同時(shí)仍具有純粹干涉測(cè)量系統(tǒng)精度高的優(yōu)點(diǎn)。 | 
| 全面信心
優(yōu)質(zhì)的設(shè)計(jì)、制造和技術(shù)支持是雷尼紹的標(biāo)志性特征。不管是微米級(jí)測(cè)量還是納米級(jí)測(cè)量，設(shè)施和質(zhì)量保證都極為重要。標(biāo)準(zhǔn)的三年保修期和全球支持網(wǎng)絡(luò)體現(xiàn)了我們對(duì)您的承諾。 |
|
XL-80激光裝置  XL-80激光系統(tǒng)可以產(chǎn)生非常穩(wěn)定的激光光束，采用的波長(zhǎng)可溯源至國(guó)家和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。
激光穩(wěn)頻精度通過動(dòng)態(tài)熱控制技術(shù)將激光管長(zhǎng)度變化控制在幾納米范圍內(nèi)，達(dá)到1年內(nèi)精度為±0.05 ppm，1小時(shí)內(nèi)精度為±0.02 ppm。 線性測(cè)量精度在整個(gè)環(huán)境范圍內(nèi)，即從0 oC - 40 oC（32 oF - 104 oF）和650毫巴 - 1150毫巴的范圍內(nèi)，精度為±0.5 ppm?？梢愿哌_(dá)50 kHZ頻率讀取數(shù)據(jù)，最高線性測(cè)量速度可達(dá)4 m/s，即使在最高速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm。 儀器內(nèi)置的USB意味著激光系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)之間無需單獨(dú)的接口。 激光頭前部一排LED狀態(tài)指示燈顯示激光狀態(tài)和信號(hào)強(qiáng)度，相當(dāng)于將屏幕軟件上的“狀態(tài)顯示”擴(kuò)展到激光頭上。
可以在標(biāo)準(zhǔn)距離 (40 m) 和長(zhǎng)距離 (80 m) 模式之間切換。 模擬I/O端口允許模擬信號(hào)輸出和觸發(fā)信號(hào)輸入。 預(yù)熱時(shí)間少于6分鐘。 外接開關(guān)電源允許輸入電壓在90V - 264 V之間變化。
上述所有特點(diǎn)使得XL-80的使用快捷方便。  根據(jù) (IEC) EN60825-1，雷尼紹XL-80激光干涉儀屬二類激光裝置，因而不需要佩戴護(hù)目鏡。在首次操作本系統(tǒng)之前，請(qǐng)務(wù)必參閱系統(tǒng)手冊(cè)，詳細(xì)了解安全信息。
 XC-80補(bǔ)償器是XL系統(tǒng)線性測(cè)量精度的一個(gè)關(guān)鍵要素。補(bǔ)償器配備有“智能型傳感器”來處理原始環(huán)境參數(shù)，可非常準(zhǔn)確地測(cè)量空氣溫度、氣壓和相對(duì)濕度。這些條件的改變可能會(huì)影響激光波長(zhǎng)和測(cè)量讀數(shù)。
XC-80使用傳感器讀數(shù)來修正激光波長(zhǎng)的標(biāo)稱值，以給出在之后的計(jì)算中使用的真值，消除了由這些變化造成的任何測(cè)量誤差。
如果您注重精度，則需要進(jìn)行有效的波長(zhǎng)補(bǔ)償。
XC-80的主要特性包括： 均勻補(bǔ)償 — XC-80和傳感器的設(shè)計(jì)確保在整個(gè)環(huán)境操作條件范圍內(nèi)讀數(shù)均勻并非常精確。 傳感器更新迅速— 如XC-80裝置上的LED狀態(tài)指示燈所示，每7秒自動(dòng)完成一次更新。 集成的USB — 集成的USB連接意味著無需使用單獨(dú)的計(jì)算機(jī)接口和單獨(dú)電源（USB同時(shí)為XC-80和傳感器供電）。 輕便 — XC-80僅重550 g，連同XL-80也僅重3 kg多一點(diǎn)（包括連接電纜、XL電源和傳感器）。 智能氣溫和材料溫度傳感器 — 內(nèi)置微處理器分析并處理傳感器的輸出，再將溫度數(shù)值傳輸給XC-80補(bǔ)償器。這使測(cè)量更安全，也是XC-80如此輕便小巧的關(guān)鍵原因，同時(shí)還確保傳感器可完全互換并且不會(huì)影響精度。
也可將最多三個(gè)材料溫度傳感器連接至XC-80補(bǔ)償器，將線性測(cè)量值歸一化為材料溫度為20°C的標(biāo)準(zhǔn)值。 多用途傳感器電纜 — 標(biāo)準(zhǔn)5 m長(zhǎng)的傳感器電纜可以拆卸，更換方便，在較長(zhǎng)機(jī)器上測(cè)量時(shí)，可用螺紋接頭將多條電纜連接在一起來加長(zhǎng)。
注：使用雷尼紹系統(tǒng)時(shí)，角度或直線度測(cè)量不需要環(huán)境補(bǔ)償，因?yàn)檫@些測(cè)量值是通過彼此靠近的兩個(gè)光束路徑的差計(jì)算得出的，其中環(huán)境因子本身被抵消。由于回轉(zhuǎn)軸、平面度和垂直度測(cè)量也以這些測(cè)量為基礎(chǔ)，因此也不需要進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
除非您使用的是專用測(cè)量臺(tái)，否則很可能需要一個(gè)安裝云臺(tái)（多數(shù)情況下還需要三腳架）來調(diào)整激光頭相對(duì)于所需測(cè)量軸的位置。  XL安裝云臺(tái)在設(shè)計(jì)上考慮到了XL-80的精確角度旋轉(zhuǎn)及平移，可以一直固定在激光頭上，易于存放和快速架設(shè)。
"快速安裝/釋放"機(jī)構(gòu)可確保云臺(tái)快速安全地固定到三腳架上。對(duì)于那些不方便安裝三腳架的應(yīng)用場(chǎng)合，例如直接固定在機(jī)床工作臺(tái)上，則云臺(tái)和激光頭也可用M8螺紋的轉(zhuǎn)接頭固定在標(biāo)準(zhǔn)磁力表座上。
新型通用三腳架已經(jīng)過廣泛的測(cè)試，具有穩(wěn)定的可調(diào)基座，而且結(jié)構(gòu)小巧、輕便。
相同的光學(xué)鏡組可以與XL-80或ML10系統(tǒng)配合使用，從而保證測(cè)量設(shè)定和程序的一致性。所有測(cè)量均采用干涉原理測(cè)量，因此都使用了可溯源至國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)的激光波長(zhǎng)，讓您對(duì)測(cè)量結(jié)果完全放心。
特性與優(yōu)點(diǎn)  可互換 — 線性、角度和直線度光學(xué)鏡組的獨(dú)特設(shè)計(jì)，使不同測(cè)量之間的切換簡(jiǎn)單易行而不必重新進(jìn)行激光對(duì)準(zhǔn)。
便利 — 無需拖曳或纏繞電纜即可移動(dòng)光學(xué)鏡組，精度和便利性俱佳。 低質(zhì)量鋁制光學(xué)鏡組 — 該光學(xué)鏡組為鋁制，因此在測(cè)量水平臂坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上的俯仰誤差以及進(jìn)行動(dòng)態(tài)測(cè)量時(shí)，該光學(xué)鏡組的低質(zhì)量具有重大意義。 環(huán)境適應(yīng)快速 — 某些競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的系統(tǒng)使用不銹鋼光學(xué)鏡外殼。這些外殼比雷尼紹鋁制光學(xué)鏡組外殼重很多且導(dǎo)熱率較低，因此適應(yīng)車間環(huán)境的時(shí)間比較長(zhǎng)。  線性測(cè)量是目前在機(jī)器上執(zhí)行的最普遍的測(cè)量形式。
每個(gè)線性測(cè)量光學(xué)鏡組件包括：
訂貨號(hào)：A-8003-0440線性測(cè)量光學(xué)鏡組件
規(guī)格 |
標(biāo)準(zhǔn)距離 |
0 m - 40 m (0 in - 1600 in) | |
系統(tǒng)精度（與XL-80系統(tǒng)配合使用時(shí)） |
±0.5 ppm（百萬分之一） | |
（與ML10 Gold Standard配合使用時(shí)） |
±0.7 ppm | |
（與ML10、Gold Standard之前的系統(tǒng)配合使用時(shí)） |
±1.1 ppm | |
分辨率 |
0.001 μm (0.1 μin) | |
最高速度 |
4 m/s (9 600 in/min) | |
速度測(cè)量精度 |
±0.05% |
如執(zhí)行大于40 m的線性測(cè)量，您需要長(zhǎng)距離線性組件
 這些光學(xué)鏡組可實(shí)現(xiàn)俯仰和扭擺角度測(cè)量。可以測(cè)量高達(dá)±10°的角度偏移，分辨率為0.01角秒。
每個(gè)角度測(cè)量組件包括：
訂貨號(hào)：A-8003-0441角度測(cè)量光學(xué)鏡組
規(guī)格 |
軸向量程 |
0 m - 15 m (0 in - 590 in) | |
角度測(cè)量范圍 |
±175 mm/m (±10°) | |
角度精度 |
±0.6%* ±0.5 ±0.1M μm/m
（±0.6%* ±0.1 ±0.007F角秒） | |
分辨率 |
0.1 μm/m（0.01角秒） |
其中：
% = 顯示值的百分率
M = 以米計(jì)的測(cè)量距離
F = 以英尺計(jì)的測(cè)量距離
* 可特殊定制精度為0.2%的產(chǎn)品 頂部
線性和角度復(fù)合光學(xué)鏡組組件  該復(fù)合光學(xué)鏡組件對(duì)于想要執(zhí)行線性和角度測(cè)量的用戶來說是節(jié)約成本的選擇。
每個(gè)復(fù)合組件包括：
訂貨號(hào)：A-8003-2774線性和角度復(fù)合光學(xué)鏡組件
直線度測(cè)量光學(xué)鏡組件：0.1 - 4 m軸長(zhǎng)  這些光學(xué)鏡組可在長(zhǎng)度達(dá)4 m的線性軸實(shí)現(xiàn)水平直線度誤差的測(cè)量。還可實(shí)現(xiàn)軸平行度測(cè)量。
每個(gè)短距離直線度組件包括：
訂貨號(hào)：A-8003-0443短距離直線度光學(xué)鏡組
規(guī)格 |
軸向量程 |
0.1 m - 4 m (4 in - 160 in) | |
直線度測(cè)量范圍 |
±2.5 mm (±0.1 in) | |
精度 |
±0.5% ±0.5 ±0.15M2 μm
(±0.5% ±20 ±0.5F2 μin) | |
分辨率 |
0.01 μm (1 μin) |
其中：
% = 顯示值的百分率
M = 以米計(jì)的測(cè)量距離
F = 以英尺計(jì)的測(cè)量距離
根據(jù)應(yīng)用的不同，可能需要通用（直線度）光閘或直線度附件組件（請(qǐng)參閱光學(xué)鏡組附件部分）
直線度測(cè)量光學(xué)鏡組件：1 - 30 m軸長(zhǎng)  使用XL-80激光系統(tǒng)時(shí)，這些光學(xué)鏡組可用于量測(cè)長(zhǎng)度從1 m到30 m的線性軸的水平直線度誤差。還可實(shí)現(xiàn)軸平行度測(cè)量。
每個(gè)長(zhǎng)距離直線度組件包括：
訂貨號(hào)：A-8003-0444長(zhǎng)距離直線度光學(xué)鏡組
規(guī)格 |
軸向量程 |
1 m - 30 m (40 in - 1 200 in) | |
直線度測(cè)量范圍 |
±2.5 mm (±0.1 in) | |
精度* |
±2.5% ±5 ±0.015M2 μm
(±2.5% ±200 ±0.05F2 μin) | |
分辨率 |
0.1 μm (10 μin) |
其中：
% = 顯示值的百分率
M = 以米計(jì)的測(cè)量距離
F = 以英尺計(jì)的測(cè)量距離
* 視環(huán)境條件而定
根據(jù)應(yīng)用的不同，可能需要通用（直線度）光閘或直線度附件組件（請(qǐng)參閱光學(xué)鏡組附件部分）  這些光學(xué)鏡組通過比較一通過光學(xué)直角尺直線軸的直線度斜率值與另一軸直線度斜率值相對(duì)之差，來確定兩條標(biāo)稱垂直坐標(biāo)軸的垂直度。
注：
執(zhí)行垂直度測(cè)量還需要直線度測(cè)量光學(xué)鏡組件和直線度附件。
每個(gè)垂直測(cè)量光學(xué)鏡組件包括：
訂貨號(hào)：A-8003-0665垂直度測(cè)量光學(xué)鏡組
規(guī)格 |
范圍 |
±3/M mm/m（±2 000/F角秒） | |
分辨率 |
0.01 μm/m（0.01角秒） |
其中：
M = 以米計(jì)的測(cè)量距離
F = 以英尺計(jì)的測(cè)量距離  平面度鏡不僅可以水平旋轉(zhuǎn)，還可以傾斜以實(shí)現(xiàn)激光光束的水平和垂直調(diào)整。
注：
還需要角度光學(xué)鏡組才能執(zhí)行平面度測(cè)量。
每個(gè)平面度測(cè)量組件包括：
訂貨號(hào)：A-8003-0442平面度測(cè)量組件
規(guī)格 |
軸向量程 |
0 m - 15 m | |
平面度測(cè)量范圍 |
±1.5 mm (±0.06 in) | |
精度 |
±0.6%* ±0.02M2 μm
(±0.6%* ±0.08F2 μin) | |
分辨率 |
0.01 μm (1 μin) |
其中：
% = 計(jì)算出的平面度值的百分率
M = 以米計(jì)的對(duì)角長(zhǎng)度
F = 以英尺計(jì)的對(duì)角長(zhǎng)度
2個(gè)平面度鏡
1個(gè)50 mm平面度基板
1個(gè)100 mm平面度基板
1個(gè)150 mm平面度基板
1個(gè)光學(xué)角尺和夾緊螺釘
1個(gè)支架（用于安裝可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡）
1個(gè)直線度干涉鏡
1個(gè)直線度反射鏡
2個(gè)準(zhǔn)直調(diào)整標(biāo)靶
1個(gè)直線度干涉鏡
1個(gè)直線度反射鏡
1個(gè)線性反射鏡和夾緊螺釘
1個(gè)角度反射鏡
1個(gè)角度干涉鏡
3個(gè)準(zhǔn)直調(diào)整標(biāo)靶
1個(gè)角度反射鏡
1個(gè)角度干涉鏡
2個(gè)準(zhǔn)直調(diào)整標(biāo)靶
1個(gè)線性干涉鏡
2個(gè)線性反射鏡和夾緊螺釘
2個(gè)準(zhǔn)直調(diào)整標(biāo)靶
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