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M-NanoCoord
細(xì)微形狀測量系統(tǒng)

特點
? 能精確測量微小表面的形狀(如MEMS 產(chǎn)
品、 電氣設(shè)備、精密模、陽模、球面透鏡
等)。
? M-NanoCoord 系列的每一型號均包含一臺
最新開發(fā)的超高精度主機。
? M-NanoCoord 系列的每一型號均包含一個
作為標(biāo)準(zhǔn)配件的視像測頭。
? 除了標(biāo)準(zhǔn)的視像測頭之外，還可安裝第
二測頭。
兩種測頭可供選擇
極低測力掃描測頭，特別適用于非損傷地
測量軟質(zhì)工件；
極小測頭的接觸式測針UMAP103，特別適
用于測量微孔。

技術(shù)參數(shù)
測量范圍
X 軸: 200mm
Y 軸: 200mm
Z 軸: 100mm
精度: (0.2+L/1000)μm
L 為測量長度(mm)
結(jié)構(gòu)
X 和 Y 軸: XY 表面導(dǎo)向
Z 軸: 滑動架和固定心軸
導(dǎo)向方式: 液壓軸承
驅(qū)動方式: 摩擦驅(qū)動
長度標(biāo)準(zhǔn)桿: 激光全息測微計
照明系統(tǒng): 表面照明
程控環(huán)形照明